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分子组装薄膜及其对微机电系统的润滑研究
  • 项目名称：分子组装薄膜及其对微机电系统的润滑研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：50275142
  • 申请代码：E0505
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：2003-01-01-2005-12-01
  • 项目负责人：刘维民
  • 负责人职称：研究员
  • 依托单位：中国科学院兰州化学物理研究所
  • 批准年度：2002
中文摘要：

研究分子组装有机润滑薄膜对微机电系统的粘着、磨损、运行寿命的影响，探讨微系统用材料的表面离子束和化学氧化处理及组装薄膜分子间的化学交联对提高微系统抗磨损性能和使用寿合的影响。揭示影响微系统润滑防护的多种因素，提出微机电系统在多种条件下的润滑失效机理。研究结果将为解决相关分子尺度的润滑防护问题提供理论依据和技术保障。

中文主题词： 分子组装薄膜，微机电系统，润滑防护
结论摘要：

英文主题词SAMs；MEMS；Lubrication

成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 24
  • 2
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