硬脆材料微零件与微结构元件目前越来越广泛的应用于国防、航空航天、生物工程、微电子等重要领域,研究硬脆材料的微磨削材料去除机理及延性域加工方法,实现高精度高表面质量的硬脆材料微结构元件的高效加工对我国极具战略意义。本项目针对硬脆材料微磨削过程建立理论模型与FEM仿真模型,进行理论模型推导与数值仿真结果的比较分析验证;基于聚焦合成开发一种新型高效的微磨棒磨粒三维出刃形貌表征方法并针对实验用微磨棒进行形貌表征;进行典型硬脆材料的微磨削实验并以实验结果为基础分析其表面质量影响因素及影响规律;通过理论分析与实验研究进行硬脆材料微磨削延性域加工方法的探讨,获得不同硬脆材料的微磨削临界加工条件。本项目研究成果将会对国内微磨削研究领域提供原创性理论成果贡献,并争取对硬脆材料的微磨削研究达到国际先进水平,部分成果可以加速国内重要微结构元件制造与应用进程,同时对国内相关产业的加工工艺提高起到显著作用。
英文主题词Micro-grinding;Hard brittle material;Ductile regime;Complex critical condition;