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基于跨尺度关联的大口径多层介质膜光栅制作无损检测
项目名称:基于跨尺度关联的大口径多层介质膜光栅制作无损检测
项目类别:面上项目
批准号:11375175
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:徐向东
依托单位:中国科学技术大学
批准年度:2013
成果综合统计
成果类型
数量
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
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期刊论文
用于太空望远镜的大口径薄膜菲涅尔衍射元件
徐向东的项目
高分辨软X光透射光栅制备技术研究
期刊论文 3
会议论文 2
全息离子束刻蚀同步辐射光栅微结构精密控制技术
期刊论文 7
高线密度自支撑透射光栅超微细加工技术研究
期刊论文 11
会议论文 3