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　碳化硅材料外延生长机理及关键技术研究
  • 项目名称：　碳化硅材料外延生长机理及关键技术研究
  • 批准号：438431
  • 项目来源：2006年教育部科学技术研究重点项目
  • 研究期限：2006-03-
  • 项目负责人：张玉明
  • 依托单位：西安电子科技大学
  • 批准年度：2006
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