采用叉指换能器在压电晶体-液体-压电晶体分层结构中激发和接收体声波的物理效应,体声波穿透两压电晶体之间的待测液体层,通过测量接收叉指换能器的输出电信号得到液体的密度值;该传感器制作上仅需采用成熟的表面声波工艺即可,实现起来容易;因叉指换能器易激发高频体声波,可使传感器尺寸小、测量精度高,能实现微量液体密度的实时测量。
英文主题词Orientation of piezoelectric substrate; Interdigital transducers; Bulk acoustic waves; Liquid density; Sensors