本课题将研究⑴基于参数估计的无谐波抑制的误差自分离技术;⑵仪器系统各组成模块零部件功能复合的有关概念、原理、模型、设计方法和相关技术;⑶基于新的误差自分离技术和功能复合原理的整体式超精密回转基准原理、模型和样机.该课题的研究对促进现代仪器途芑档男赂拍睢⑿吕砺鄣难芯坑敕?展对推动我国仪器技术水平的提高有重要意义。
英文主题词Error Self-Separation; Rotary Reference; Function Composition; Differential Confocal Technique; Sensor