本申请选择钙钛矿导电氧化物(简写为PCO)作为连接金属基底与YBCO涂层的缓冲层,分别采用化学溶液沉积法(CSD)和三氟乙酸金属有机物沉积法(TFA-MOD)制备PCO与YBCO薄膜,这对于降低YBCO涂层导体的制备成本和提高导体的工程临界电流具有重要的实用和理论研究价值。本申请首先在单晶基底(LaAlO3,YSZ)上制备各种PCO缓冲层与YBCO涂层,获得制备各种PCO缓冲层的最佳工艺,研究TFA-MOD工艺中温度、水蒸气、HF等因素对PCO和YBCO薄膜质量的影响,选择确定与YBCO最匹配的PCO缓冲层。在完善单晶基底YBCO涂层导体制备工艺的基础上,在RABiTS-NiW织构基底上制备CSD-PCO与TFA-MOD-YBCO涂层,分析PCO与NiW基底的化学匹配性以及PCO与YBCO薄膜的生长特性,获得具有优良电学性能的YBCO复合涂层导体。
英文主题词YBCO coats, Chemical solution deposition, Metal-organic deposition, Perovskite, Conductive ceromic