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　原子级光滑表面抛光研究
  • 项目名称：　原子级光滑表面抛光研究
  • 批准号：2006DFA73350
  • 项目来源：2006年度国际科技合作计划（专项经费）项目
  • 研究期限：2007-01-
  • 项目负责人：潘国顺
  • 依托单位：深圳清华大学研究院微纳工程重点实验室;日本东北大学机械工程学院摩擦学实验室
  • 批准年度：2006
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 1
  • 0
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期刊论文
聚苯乙烯（PS）颗粒抛光液特性对铜表面化学机械抛光的影响
潘国顺的项目