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　高端反向光刻中的图形保真方法研究
  • 项目名称：　高端反向光刻中的图形保真方法研究
  • 批准号：541373
  • 项目来源：霍英东教育基金会第十二届高等院校青年教师基金基础性研究课题
  • 研究期限：2010-04-
  • 项目负责人：郭汉明
  • 依托单位：上海理工大学
  • 批准年度：2010
郭汉明的项目
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