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绝缘材料等离子体浸没离子注入表面优化
  • 项目名称：绝缘材料等离子体浸没离子注入表面优化
  • 项目类别：专项基金项目
  • 批准号：10345003
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：田修波
  • 依托单位：哈尔滨工业大学
  • 批准年度：2003
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 2
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期刊论文
等离子体浸没离子注入绝缘材料的研究
Spatial Potential Distribution around Trench Target during Plasma Immersion Ion Implantation
田修波的项目
大体积等离子体电容耦合射频激励的极板自偏压溅射效应抑制及放电规律研究
期刊论文 28
空心阴极放电自诱导电子加速效应及深熔焊接研究
期刊论文 25 会议论文 18 专利 2
一种细长管内表面离子注入新技术及其机理研究- - - - 射频放电/高压脉冲直接耦合的内源/正偏压等离子体离子注入
期刊论文 22 会议论文 10
大面积工件自源自偏压空心阴极放电及用于高硬超厚DLC薄膜沉积研究
高离化率磁控溅射新方法及薄膜制备和形成机理研究
期刊论文 8
微小电感耦合射频等离子体细长管筒内表面离子注入新技术及应用研究
期刊论文 23 会议论文 1