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远程等离子体氮化制备超薄界面层调制金属/锗接触势垒研究
  • 项目名称：远程等离子体氮化制备超薄界面层调制金属/锗接触势垒研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：61376108
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：蒋玉龙
  • 依托单位：复旦大学
  • 批准年度：2013
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