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干法刻蚀InP系材料表面损伤缺陷的研究
  • 项目名称：干法刻蚀InP系材料表面损伤缺陷的研究
  • 项目类别：青年科学基金项目
  • 批准号：68906004
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：朱洪亮
  • 依托单位：中国科学院半导体研究所
  • 批准年度：1989
朱洪亮的项目
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