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地震检波器用微加速度传感器低应力真空封装研究
  • 项目名称：地震检波器用微加速度传感器低应力真空封装研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：41674181
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：车录锋
  • 依托单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 批准年度：2016
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