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　新一代石油勘探装备用高性能MEMS振动传感器
  • 项目名称：　新一代石油勘探装备用高性能MEMS振动传感器
  • 批准号：2006AA04Z363
  • 项目来源：“十一五”国家高技术研究发展计划(863计划)先进制造技术领域2006年度专题课题
  • 研究期限：2006-11-
  • 项目负责人：车录锋
  • 依托单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 批准年度：2006
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 1
  • 0
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期刊论文
一种硅四层键合的高对称电容式加速度传感器
车录锋的项目
地震检波器用微加速度传感器低应力真空封装研究
石油勘探地震检波器用新型微机电传感器研究
期刊论文 9 专利 2
驱动和检测具有滑膜阻尼的新型音叉式微陀螺研究
期刊论文 9 会议论文 1 获奖 2
微惯性器件的稳定性控制方法研究
宽频带高量程冲击微加速度传感器研究
期刊论文 10 会议论文 1