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紫外光发射硅衬底氧化锌薄膜的制备及其特性研究
  • 项目名称:紫外光发射硅衬底氧化锌薄膜的制备及其特性研究
  • 项目类别:面上项目
  • 批准号:59872037
  • 申请代码:E020401
  • 项目来源:国家自然科学基金
  • 研究期限:1999-01-01-2001-12-01
  • 项目负责人:傅竹西
  • 负责人职称:教授
  • 依托单位:中国科学技术大学
  • 批准年度:1998
中文摘要:

发展和完善了直流反应溅射、MOCVD、电子速蒸发和水溶液等方法,制备了ZnO和MgxZn1-xO薄膜及ZnO自组装量子点,共计近千个样品。研究了发光与制备条件的关系;测量了样品的晶体结构、禁带宽度、多重分形谱、阴极射线和光致发光光谱、激发光谱、吸收和反射谱等;计算了ZnO薄膜的本征缺陷能级;探讨了发光中心的性质。主要成果1)通过特殊的过渡层改善了Si上大失配外延ZnO薄膜的质量,使高度提高两个数量级以上,并能人为地控制发光光谱;2)首次观察到ZnO/Si异质结的光生伏特效应和强的紫外响应,为制作光电池和紫外探测器提供了根据;3)应用特殊的参杂方法,生长出p型ZnO薄膜,并制备了同质p-n结;4)发表论文24篇,其中SCI收录15篇。

结论摘要:

英文主题词ZnO film; luminescence spectrum;photovoltage; ultraviolet response; p-n homojunction, ,


成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
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