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LED芯片衬底材料近极限光滑表面高效平坦化原理与方法
  • 项目名称：LED芯片衬底材料近极限光滑表面高效平坦化原理与方法
  • 项目类别：重大研究计划
  • 批准号：91223202
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：潘国顺
  • 依托单位：清华大学
  • 批准年度：2012
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 3
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期刊论文
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期刊论文 17 会议论文 9 获奖 2 专利 11