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中文摘要：
导电高分子独特的性质及良好的加工性能使其成为微电子学领域非常有前景的材料。同时，导电高分子也是一种很好的传感器材料，将导电高分子薄膜传感器的尺寸按比例缩小，得到的导电高分子纳米传感器会有更高的灵敏度，更快的响应和更低的能耗。然而导电高分子纳米图案化方法的研究还处在起步阶段，特别是在绝缘基底上制备尺寸为100 nm及100 nm以下结构的方法还不够成熟。在本项目中，我们基于纳米压印技术，结合均向刻蚀方法和毛细力作用发展了两种导电高分子纳米图案化的新方法。这两种方法不仅突破了压印过程中模板分辨率对构筑结构分辨率的限制，使所构筑的导电高分子结构的分辨率比模板分辨率提高10倍以上；而且在提高结构分辨率的同时，降低了构筑成本。这两种构筑方法具有很好的普适性，可以用于其它材料的表面结构构筑。研究表明用此方法构筑的导电高分子结构，随结构的减小，其导电率降低，但检测气体的灵敏度提高。
结论摘要：
英文主题词nanopatterning; conducting polymer; nanoimprint lithography; resolution; sensing
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A Strategy for Patterning Conducting Polymers Using Nanoimprint Lithography and Isotropic Plasma Etc
Langmuir-Blodgett Monolayer Masked Chemical Etching: An Approach to Broadband Antireflective Surface
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