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“压电薄膜/金刚石”多层膜声表面波(SAW)器件研究
项目名称: “压电薄膜/金刚石”多层膜声表面波(SAW)器件研究
批准号:2006AA03Z0433
项目来源:“十一五”国家高技术研究发展计划(863计划)新材料技术领域2006年度专题课题
研究期限:2006-11-
项目负责人:杨保和
依托单位:天津理工大学
批准年度:2006
杨保和的项目
AlN/Diamond/Si多层膜声表面波器件及其高频特性研究
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高频LiNbO3/金刚石声表面波滤波器研究
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