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AlN/Diamond/Si多层膜声表面波器件及其高频特性研究
  • 项目名称：AlN/Diamond/Si多层膜声表面波器件及其高频特性研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：60576011
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：杨保和
  • 依托单位：天津理工大学
  • 批准年度：2005
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 14
  • 0
  • 4
  • 0
  • 0
期刊论文
LLDPE／Al2O3纳米复合材料的形态、结构及力学性能
纳米金刚石薄膜的制备
射频磁控溅射生长C轴择优取向AlN压电薄膜
CIGS薄膜（InGa）2Se3-富Cu-富In（Ga）的演变
喷射CVD法制备金刚石厚膜及其内应力分析
织构CVD金刚石附着膜残余应力分析
Ta/BDD薄膜电极电化学催化氧化硝基酚
调Q脉冲保偏光纤激光器的研究
掺钕保偏光纤放大器的研究
氮掺杂金刚石膜的生长特性
Structural and electrical properties of co-evaporated In, Garich ClGS thin films
Ta／BDD薄膜材料电极在检测苯胺中的应用
Study of nitrogen doping behavior in diamond film
Internal stress in MPCVD diamond films on the Si substrate based on XRD line shape
专利
多层膜结构SAW器件的各层薄膜厚度无损测量方法（已授权）
IDT/h-BN/c-BN/金刚石多层膜结构声表面波器件及其制备方法（已实审）
适用 SAW 器件的纳米金刚石膜及制备方法与用途（已实审）
LiNbO3/ZnO/金刚石多层膜结构声表面波器件及其制备方法（已授权）
杨保和的项目
高频、高Q值、高稳定性SAW谐振器多层膜材料研究
期刊论文 34 会议论文 2 专利 9 著作 1
　“压电薄膜/金刚石”多层膜声表面波（SAW）器件研究
高频LiNbO3/金刚石声表面波滤波器研究
期刊论文 3 会议论文 2 著作 12