提出基于WO3-碳纳米管微阵列纳米复合结构的NOx气体传感器的研究课题,通过在传感器基底表面直接原位组装定向碳纳米管微阵列进而形成WO3-碳纳米管纳米复合结构,调制 WO3薄膜的气敏性能,辅以优化的结构和电极设计形成易与IC集成的高性能低功耗NOx气体传感器。对所涉及的相关理论和关键技术进行研究与探讨。将研究碳纳米管微阵列密度、WO3薄膜微观结构、掺杂等对气敏特性的影响规律,通过对碳纳米管与WO3之间纳米界面特性及界面结构二元协同气敏特性效应调制规律的研究,探讨纳米复合结构气体传感器的气敏与纳米效应机理并建立气敏机制模型,实现传感器的结构设计、制作与性能表征。本项目研究不但能为高性能气敏材料的结构与成分设计提供理论依据,为敏感器件的制作提供有效手段,而且项目研究将涉及薄膜物理、表面与界面物理、纳米技术、微电子学等学科的理论与前沿技术,具有鲜明的多学科多前沿技术交叉性,具有重要学术研究意义