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高分辨率微机械电容式传感器及三轴惯性组合中的关键技术研究
  • 项目名称：高分辨率微机械电容式传感器及三轴惯性组合中的关键技术研究
  • 项目类别：青年科学基金项目
  • 批准号：60506015
  • 申请代码：F040401
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：2006-01-01-2008-12-31
  • 项目负责人：董林玺
  • 负责人职称：研究员
  • 依托单位：杭州电子科技大学
  • 批准年度：2005
中文摘要：

研究带栅形槽和梳齿的横向运动的复杂微结构的空气滑膜阻尼，研究带孔或条的板间或条间的复杂微结构的空气压膜阻尼，高频时考虑空气的可压缩效应和惯性效应，低真空时考虑空气的滑移效应，从而建立两种空气阻尼的准确计算模型（误差<10％）。研究微机械工艺原因引起的电容极板不平行对高精度电容式微机械传感器的性能影响，并从工艺或传感器结构设计方面进行改进。利用研究结果制作高分辨率创新结构的微机械电容式传感器并进行三

中文主题词： 空气阻尼;MEMS;电容式传感器;三轴传感器
成果综合统计
成果类型
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期刊论文
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