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TiN/Si3N4纳米复合薄膜及其深孔狭缝表面附着强度的研究
  • 项目名称：TiN/Si3N4纳米复合薄膜及其深孔狭缝表面附着强度的研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：50271053
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：马胜利
  • 依托单位：西安交通大学
  • 批准年度：2002
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
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期刊论文
Deposition of Ti-Si-N coatings in deep blind-hole with pulsed dc power
脉冲直流PCVD制备新型Ti-Si-C-N纳米复合超硬薄膜
新型Ti—Si—C—N纳米复合超硬薄膜的高温热稳定性
马胜利的项目
第四届表面工程国际会议
(TiAl)N/Si3N4纳米复合超硬薄膜的稳定性研究
期刊论文 21 会议论文 3
超导量子电路中稳定量子态的制备与操控的
Si-C-N超硬薄膜韧化途径与机制探索
期刊论文 21 会议论文 1 专利 2