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中文摘要：
超硬薄膜材料的韧性及其表征是重要且具挑战性的课题。本项目在气相沉积制备Si-C-N和Ti-Si-C-N新型超硬薄膜材料的基础上，重点研究了薄膜韧性变化规律及其影响因素，通过建立压入法薄膜韧性测试技术，探索了薄膜韧性表征方法及其影响因素。借助基体/薄膜体系的成份设计、薄膜纳米微观结构调控以及制备工艺优化，探索了超硬薄膜韧化的可能途径与内在机制，建立了超硬薄膜韧性与薄膜硬度、成份、厚度的定量数据关系，以期获得高硬度和高韧性协同增强的超硬薄膜材料体系，为该类薄膜的进一步工业应用奠定了理论基础，并对其他超硬薄膜材料韧化提供了可资借鉴的理论指导。
结论摘要：
英文主题词super hard coating,Si-C-N,toughness, harndess, mechanism
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