位置：立项数据库 > 立项详情页
基于两种非线性理论的新型MEMS振动能量收集芯片研究
  • 项目名称：基于两种非线性理论的新型MEMS振动能量收集芯片研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：61274119
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：欧毅
  • 依托单位：中国科学院微电子研究所
  • 批准年度：2012
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 3
  • 0
  • 0
  • 0
  • 0
期刊论文
Simulation and fabrication of thin film bulk acoustic wave resonator
Band 40波段体声波滤波器的设计
Formaldehyde gas sensor based on TiO2 thin membrane integrated with nano silicon structure
欧毅的项目