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多离子束溅射制备铁电集成功能薄膜
  • 项目名称：多离子束溅射制备铁电集成功能薄膜
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：69678023
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：朱建国
  • 依托单位：四川大学
  • 批准年度：1996
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