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高功率脉冲磁控溅射放电行为预测模型的建立与验证
  • 项目名称：高功率脉冲磁控溅射放电行为预测模型的建立与验证
  • 项目类别：青年科学基金项目
  • 批准号：51301004
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：吴忠振
  • 依托单位：北京大学
  • 批准年度：2013
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 4
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期刊论文
筒内高功率脉冲磁控放电的电磁控制与优化
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