中文摘要：

本项目是研究同步辐射加速器光束线光学元件工作状态下面形倾斜度误差的测量方法，发展一种光、机、电、计综合技术的细光束干涉的实验测量装置，实现光子零件在同步辐射光源热负荷下变形的实时监测并为高精度、超光滑的同步辐射光学元件提供新的检测面形的手段，为我国已建成和待建的三大加速器（北京、合肥、上海）光束线解决一个长久的技术难关。

结论摘要：

同步辐射光束线中工作在X射线与极紫外波段的光学元件的超光滑表面的面形误差通常是用倾斜度误差来表示，本项目是"同步辐射光束线光学元件面形误差在线测量方法的研究"，提出了一种利用激光细光束干涉测量光学表面倾斜度误差的方法。并设计与制造了一种实验装置，用它可以测量不同面形的光学元件的面形误差，如非球面、平面、球面、轮胎面等，测量零件基体表面的长度可达1300mm，测量精度 。在本项目的研究成果的基础上进一步推广应用，利用细光束干涉原理，我们与意大利的里亚斯特（Trieste）同步辐射中心（ELETTRA）及美国布鲁海文国家实验室合作进一步研制成功一台在线测量五棱镜长迹面型仪即LTP-Ⅲ可以用于工作状态下同步辐射光学元件面形误差的在线测量并向意大利出口了一台LTP-Ⅲ仪器，该仪器具有多功能、低造价、高精度的优点。我们课题的研究成果有很好的应用前景，直接产生了经济效益与社会效益，作为研究成果之一，发表与宣读了学术论文报告6篇，培养研究生2名，他们的研究生论文均与此课题有关。本课题的研究成果对我国第三代同步辐射光源（SSRF）的建设与第二代光源（NSRL）的改造都有重要的现实意义。