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国家技术发明二等奖
类别:国家技术发明二等奖
级别:二等奖
所属机构名称:北京大学
成果类型:获奖
相关项目:DRIE工艺及其复杂现象的机理与建模研究
作者:
王阳元、张大成、郝一龙、闫桂珍
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