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MEMS高Q值微谐振腔光学特性及其在传感领域的应用基础研究
  • 颁奖组织：山西省教育厅
  • 类别：山西省高等学校技术发明奖
  • 时间：2012.9.27
  • 级别：( 一等奖 )
  • 所属机构名称：太原理工大学
  • 成果类型：获奖
  • 相关项目：纳米光波导器件制造科学问题及关键技术研究
作者： 薛晨阳|刘俊|熊继军|严英占|
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