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MEMS高Q值微谐振腔光学特性及其在传感领域的应用基础研究
  • 颁奖组织：山西省科学技术奖励委员会
  • 类别：科技进步
  • 时间：2013.8
  • 级别：其它
  • 所属机构名称：太原理工大学
  • 成果类型：获奖
  • 相关项目：纳米光波导器件制造科学问题及关键技术研究
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