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高性能纳米抛光材料及原子级表面平整技术
类别:2009上海市科技进步三等奖
级别:三等奖
所属机构名称:上海大学
成果类型:获奖
相关项目:计算机硬盘基片原子级平整表面污染物的作用机制与超精密清洗技术
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