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超精表面抛光、改性和测试技术及其应用研究
  • 颁奖组织：中华人民共和国国务院
  • 类别：2008年度国家科学技术进步奖
  • 级别：二等奖
  • 所属机构名称：清华大学
  • 成果类型：获奖
  • 相关项目：化学机械组合作用功能粒子及其超精抛光机理研究
作者： 雒建斌|温诗铸|潘国顺|路新春|
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