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低气压低温等离子体诊断原理与技术
  • 国际标准书号：978-7-03-027529-5
  • 所属机构名称：苏州大学
  • 页码：279
  • 成果类型：著作
  • 出版社：.北京: 科学出版社
  • 相关项目：双频调制等离子体和双离子束制备复合铪基高k薄膜机理及物理特性
作者： 叶超、宁兆元、江美福、吴雪梅、辛煜|
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