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材料物理性能与检测
  • 国际标准书号:978-7-03-032951-6
  • 所属机构名称:苏州大学
  • 页码:414
  • 成果类型:著作
  • 出版社:.北京: 科学出版社
  • 相关项目:双频调制等离子体和双离子束制备复合铪基高k薄膜机理及物理特性
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