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微机电技术
  • 国际标准书号:9787560633350
  • 所属机构名称:西安电子科技大学
  • 时间:2014.8.15
  • 页码:412
  • 成果类型:著作
  • 出版社:西安电子科技大学出版社
  • 字数:546000
  • 相关项目:基于屈曲的低压高速大变形微驱动器关键技术研究
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