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溅射技术在制备SiC薄膜中的应用
  • 所属机构名称：天津理工大学
  • 成果类型：著作
  • 出版社：天津理工学院学报,2004年2期（录用）
  • 语言：中文
  • 相关项目：纳米碳化硅薄膜的制备、稀土掺杂及光电发射特性
作者： 李娟|刘技文|孙永昌|
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