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《微细加工技术》
  • 所属机构名称：中国科学院微电子研究所
  • 成果类型：著作
  • 出版社：化学工业出版社
  • 字数：28.6万字
  • 相关项目：面向SOC的高性能纳米硅单电子器件研究
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