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Growth of oriented BNfilms prepared by electron cyclotron resonance CVD
  • 所属机构名称:北京工业大学
  • 页码:2001.223/4/545
  • 成果类型:著作
  • 出版社:J.Cryst Growth
  • 语言:英文
  • 相关项目:立方氮化硼薄膜的织构生长和掺杂特性研究
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