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微机电系统与微细加工技术
  • 所属机构名称：南京航空航天大学
  • 成果类型：著作
  • 出版社：哈尔滨工程大学出版社
  • 相关项目：微细电加工及其微小装备的基础研究
作者： 朱荻|云乃彰|曲宁松|汪炜|
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