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微细电加工及其微小装备的基础研究
  • 项目名称：微细电加工及其微小装备的基础研究
  • 项目类别：重点项目
  • 批准号：50635040
  • 申请代码：E0512
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：2007-01-01-2010-12-31
  • 项目负责人：朱荻
  • 负责人职称：教授
  • 依托单位：南京航空航天大学
  • 批准年度：2006
中文摘要：

三维金属复杂微结构的微细电加工技术是产品微型化、精密化的关键支撑技术。本项目针对最小特征尺寸为5 微米的三维金属复杂微结构的制造需求，深入系统地研究微细电火花加工、微细电解加工以及这两种技术的组合加工技术，构建了微细电加工理论和技术体系。重点解决了多场耦合对加工过程的作用机制、微米尺度间隙流场下物质的输运过程及纳秒脉冲电流作用下的加工过程机理等基础问题，建立起微细电加工基础理论体系，突破了微细电加工的加工状态特征提取与间隙控制、微尺度工具电极在线制备、高品质波形纳秒脉宽脉冲电源、降低电极损耗及电极损耗补偿策略、高定域性加工等关键技术，解决了最小特征尺寸为5 微米尺度的三维金属复杂结构的制造难题，即可加工微小系统零件，也可以加工宏观尺度零件上的微细结构，研制出基于微细电加工的集成式微小型装备系统样机，使我国微细电加工技术的整体水平有较大幅度的提升。已发表学术论文61篇，录用待发表5篇。其中SCI、EI、ISTP收录62篇次。授权发明专利8项，实用新型专利1项，申请发明专利4项。共培养博士生11名、硕士生9名。

中文主题词： 微细电解加工;微细电火花加工;微小型装备
结论摘要：

英文主题词microECM;microEDM;desktop equiment

成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 71
  • 11
  • 13
  • 1
  • 2
期刊论文
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阴极高速旋转对微细电化学钻孔加工精度的影响
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辅助交变低气压-温度梯度微细电铸技术
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Micro electroforming of high-aspect-ratio metallic microstructures by using a movable mask
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阴极跳跃进给的微细电化学加工
基于有限元方法的变截面内冷却通道电解加工技术研究
UV-LIGA技术制备大厚度高开孔率精细金属网板
微细电火花加工中电极损耗机理的研究
微细电火花小孔加工过程仿真
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模板电解加工群孔技术研究
镍基高温合金微细电解铣削加工实验研究
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微晶云母陶瓷微型拉瓦尔喷管的超声加工关键技术
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锥形电极在改善微小孔电解加工定域性中的作用
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基于阴极周期往复运动的微细电解加工系统
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提高小孔电解加工精度的试验研究
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使用Inventor软件的超声变幅杆模态分析
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集肤效应对微细电火花加工的影响
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粉末对混粉电火花液固混合工作液的作用机制
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群孔管电极电解加工均流设计及其试验研究
会议论文
Behaviors of suspended powder in powder mixed EDM
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镍基高温合金的微细电解加工工艺研究
Realization of Uniform Wear of Electrode in Micro EDM
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专利
适于工具电极高速旋转的引电轴承式电解加工机床
高深宽比微细金属群柱结构的电化学加工方法及专用工具
采用诱导阳极的电化学沉积装置
微细电加工的微细电极在线检测方法
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基于FPGA的纳秒级微能脉冲电源
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获奖
电化学制造技术的基础研究
著作
微细电化学加工技术
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