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Study on the Precise Stepper Actuator with Piezoelectric Stack Pump
  • 所属机构名称:吉林大学
  • 会议名称:IEEE-NEMS2010 , 5th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:压电/电流变混合超精密步进驱动机理及关键技术研究
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