中文摘要：

利用压电泵流体驱动与电流变阀控制的组合方式对执行机构（微型精密液压缸）进行主动驱动与控制，从而实现高频、超精密的新型液压步进驱动。项目主要研究这种新型精密驱动的工作机理及关键因素。具体研究内容包括1、研究了压电泵的脉冲工作过程和电流变阀开关控制之间的协调关系以及二者之间相位差对系统工作能力的影响；2、定量研究了叠堆型压电泵的最高流量分辨率与系统最高驱动分辨率之间的关系，分析了电流变阀的响应特性变化对系统工作频率和输出能力的影响；3、研究了并联结构的平板形电极电流变阀与圆筒形电极电流变阀等不同电流变阀结构对驱动器最大输出能力的影响，分析了压电泵的驱动能力与电流变阀的剪切强度之间的匹配关系；4、通过对固、液两相混合液体-电流变液在泵腔及流道中的流场分析，对压电叠堆泵的结构进行了优化设计；研究了新结构的电流变阀，并对其性能进行了实验研究。项目的研究工作将为研制具有高分辨率、大行程、高速运动、大驱动能力的精密步进驱动器提供新的原理和方法。为超精密驱动技术领域的研究提供具有借鉴参考价值的依据。