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压电泵驱动粘性流体的设计与性能研究
  • 所属机构名称:吉林大学
  • 会议名称:SPAWDA 2009
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:压电/电流变混合超精密步进驱动机理及关键技术研究
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