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Effect of catalyst on the vertically aligned high-density carbon nanotubes growth by RF-PECVD
所属机构名称:天津理工大学
会议名称:China International Conference on Nanoscience & Technology
成果类型:会议
相关项目:极大规模集成电路碳纳米管互连基础及关键工艺研究
作者:
王芳|胡凯|张楷亮|
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