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Effect of catalyst on the vertically aligned high-density carbon nanotubes growth by RF-PECVD
  • 所属机构名称:天津理工大学
  • 会议名称:China International Conference on Nanoscience & Technology
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:极大规模集成电路碳纳米管互连基础及关键工艺研究
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