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极大规模集成电路碳纳米管互连基础及关键工艺研究
  • 项目名称：极大规模集成电路碳纳米管互连基础及关键工艺研究
  • 项目类别：青年科学基金项目
  • 批准号：60806030
  • 申请代码：F040601
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：2009-01-01-2011-12-31
  • 项目负责人：张楷亮
  • 负责人职称：教授
  • 依托单位：天津理工大学
  • 批准年度：2008
中文摘要：

随着芯片特征尺寸的纳米化（32nm向22nm发展），ITRS预测碳纳米管（CNT）将替代铜布线，旨在解决铜互连线无法承载的电流密度、电迁移等问题，本项目属于微纳电子器件互连集成技术领域近期研究热点。本项目围绕CNT互连关键集成技术开展了系列研究。对比不同催化剂的影响，优化出复合催化剂Fe-Al及催化剂的处理方法，获得了高密度的纳米催化剂颗粒。讨论不同沉积温度对CNT生长的影响，获得温度对CNT定向生长及CNT缺陷的影响规律。利用本课题组发明专利技术（CN102130040A和CN102130091A），基于CNT填充及平坦化工艺技术设计了CNT互连镶嵌结构的集成工艺，获得整套CNT互连集成技术，并比较分析了CNT互连的电性能及导电机制。基于分布参数的传输线模型，建模仿真了CNT互连结构的稳定性影响及互连时延性；通过提取磁性电感，进一步完善了串扰特性模型，对SWCNT和DWCNT的串扰特性进行仿真，并与Cu互连结构进行了对比，均表明CNT互连电特性远优于Cu互连结构，尤其是在高频和小尺寸器件应用中。本项目的完成为GLSI 新型互连材料CNT 的集成应用提供理论指导和工艺基础。

中文主题词： 碳纳米管；器件互连；集成技术；串扰特性；模拟
结论摘要：

英文主题词Carbon nanotubes;chemical mechanical planarization;Integration interconnection;ballistic effect;Ohmic contact

成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 25
  • 5
  • 11
  • 0
  • 0
期刊论文
基于倾斜光纤光栅的相对湿度传感器
Crosstalk Analysis of Carbon Nanotube Bundle Interconnects
Influence of p-layer on the performance of n-i-p mu c-Si:H thin film solar cells
Weakly tilted fibre Bragg grating inscription in all-solid photonic bandgap fibres
Effect of substrate temperature on aligned high-density carbon nanotubes deposited by RF-PECVD
Deposition of VOX films by reactive sputtering and its properties
基于电感耦合氧等离子体金刚石膜表面修饰的功率优化
Effects of substrate temperature on resistive switching of TiOX thin film
Effects of oxygen flow ratios and annealing on TiOx deposited by reactive magnetron sputtering
Effect of O2/Ar ratio on Etching of Diamond Films by MPCVD
Effect of film thickness on resistance switching characteristics for Cu/NiO/Pt structure
氧化钒薄膜的制备及电致开关特性的研究
Effect of pH on CMP of VOx Thin Films for RRAM
Linear edge and temperature characteristic of tilted fiber Bragg gratings cladding-mode envelope
Effect of RF Power on Carbon Nanotubes Synthesized at Low Temperature by RF PECVD
Deposition of ZnO films by sputtering and its resistive switching properties
Investigation on the Electric-Field-Induced Metal-Insulator Transition in VoX-Based Devices
六方氮化硼薄膜制备及其压电响应的研究
Al薄膜对（002）ZnO／Al／Si结构基片中ZnO薄膜特性影响的实验研究
高声速（100）择优取向AIN薄膜的制备和性能研究
通信波段液晶电光特性的实验研究
液晶电控调谐滤波器的研究
新型铜互连方法——电化学机械抛光技术研究进展
准相位匹配晶体中超短脉冲传输的自聚焦效应
会议论文
Enhancing the properties of a lead-free solder with the condition of Ni-coating carbon nanotubes
Effect of catalyst on the vertically aligned high-density carbon nanotubes growth by RF-PECVD
Crosstalk Analysis of Double-Walled Carbon Nanotube Bundle Interconnects for IC
Electrostatic capacitance extraction for carbon nanotube bundle interconnects
Crosstalk analysis of carbon nanotube bundle interconnects
专利
集成电路铜互连一步化学机械抛光工艺及相应纳米抛光液
一种用于氧化钒化学机械抛光的纳米抛光液及其应用
一种用于氧化锌化学机械平坦化的酸性纳米抛光液及应用
一种用于氧化镍薄膜化学机械平坦化的纳米抛光液及应用
一种纤芯失配的光纤二氧化氮气体浓度测量仪
一种利用碳纳米管作为固态电解液的阻变存储器
一种用于氧化锌化学机械平坦化的碱性纳米抛光液及应用
一种形成碳纳米管通孔互连金属化接触的方法
一种用于氧化钛薄膜化学机械平坦化的纳米抛光液及应用
一种用于集成电路芯片的复合通孔互连结构
一种蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法及抛光液
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