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基于微悬臂梁的谐振式MEMS密度传感器研究
  • 所属机构名称：西安交通大学
  • 会议名称：中国工程热物理会议
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：GPa量级MEMS耐高温超高压力传感器
作者： 张桂铭|赵立波|蒋庄德|徐龙起|赵玉龙|王晓坡|刘志刚|
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