位置：成果数据库 > 会议 > 会议详情页
基于MEMS技术的梯形悬臂梁密度传感器
  • 所属机构名称：西安交通大学
  • 会议名称：中国工程热物理会议
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：GPa量级MEMS耐高温超高压力传感器
作者： 赵立波|徐龙起|张桂铭|王晓坡|蒋庄德|刘志刚|
同会议论文项目
GPa量级MEMS耐高温超高压力传感器
期刊论文 14 会议论文 5 获奖 4 专利 7
同项目会议论文
压阻式谐振微悬臂梁黏度传感器
Design and Evaluation of Oil-filled Isolated High Temperature Piezoresistive Pressure Sensor
A Trapezoidal Cantilever Density Sensor Based on MEMS Technology
基于微悬臂梁的谐振式MEMS密度传感器研究