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A Trapezoidal Cantilever Density Sensor Based on MEMS Technology
  • 所属机构名称：西安交通大学
  • 会议名称：3rd International Conference of the Chinese Society of Micro/Nano Technology
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：GPa量级MEMS耐高温超高压力传感器
作者： Libo Zhao|Longqi Xu|Guiming Zhang|Zhuangde Jiang|Yu Qin|Yulong Zhao|Xiaopo Wang|Zhigang Liu|
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GPa量级MEMS耐高温超高压力传感器
期刊论文 14 会议论文 5 获奖 4 专利 7
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