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Laterally-driven variable capacitor for displacement measurement of microactuators
  • 所属机构名称：东南大学
  • 会议名称：Proc.SPIE,vol.4928,pp.108-112, 2002,Shanghai.
  • 语言：英文
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：表面加工多晶硅微机械数/模转换器的理论与实践
作者： 刘清惓|黄庆安|
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