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Micromachined variable capacitor with laterally positioned suspended plates
  • 所属机构名称：东南大学
  • 会议名称：Proc. SPIE, vol. 4601, pp.20-24,2001,Nanjing
  • 语言：英文
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：表面加工多晶硅微机械数/模转换器的理论与实践
作者： 刘清惓|黄庆安|
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